电源装置

摘要

提供一种电源装置，其可抑制基板充电引发的异常放电，可在大面积基板上形成良好的薄膜。本发明的电源装置(E)配置有：第一放电电路(E1)，其通过以规定频率交替性地使极性反转，对与等离子接触的一对靶(T1)、(T2)外加规定电位；第二放电电路(E2)，其对前述一对电极中未从第一放电电路外加电位的电极与接地间外加规定电位。第二放电电路具有反向电位外加装置(3)，其在极性反转时至少对前述电极的一方外加与输出电位相反的电位。

主权项

一种电源装置，用于等离子体产生用的电极，其特征在于，配置有：第一放电电路，其通过以规定频率交替性地使极性反转，对与等离子体接触的一对电极外加规定电位，放电电流从一个电极到另一个电极交替流动；第二放电电路，其对前述一对电极中未从第一放电电路外加电位的电极和接地间外加规定电位，从而使放电电流从接地流向该电极；前述第二放电电路具有反向电位外加装置，其在极性反转时至少对前述电极中的一方外加与对该电极施加的电位相反的电位。