| 发明名称 |
CLEANING SOLVENT AND CLEANING METHOD FOR METALLIC COMPOUND |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20130006462(A) |
申请公布日期 |
2013.01.16 |
| 申请号 |
KR20127025807 |
申请日期 |
2011.02.26 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE |
发明人 |
SAKATA YOICHI |
| 分类号 |
C23C16/44;H01L21/205;H01L21/304 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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