用于沉积材料的制造设备和其中使用的电极

摘要

本发明涉及一种用于在载体上沉积材料的制造设备和用于这种制造设备的电极。典型地，载体具有彼此隔开的第一端和第二端。插座设置在载体的每端处。这种设备包括限定了腔室的壳体。至少一个电极穿过壳体设置，用于接收插座。电极包括限定了通道的内表面。电极通过使电流直接通到载体而将载体加热至所需沉积温度。冷却剂与电极的通道处于流体连通，用于降低电极的温度。通道涂层设置在电极的内表面中，用于防止冷却剂与内表面之间的热传递发生损失。

主权项

一种用于在载体上沉积材料的制造设备，所述载体具有彼此隔开的第一端和第二端，插座设置在载体的每端处，所述设备包括：限定了腔室的壳体；穿过所述壳体限定的入口，用于将气体引入所述腔室中；穿过所述壳体限定的出口，用于将气体从所述腔室排出；至少一个电极，所述电极穿过所述壳体设置，其中所述电极至少部分地设置在所述腔室内以便接收插座，并且所述电极具有限定了通道的内表面；电源装置，所述电源装置联接至所述电极，用于向所述电极提供电流；循环系统，所述循环系统设置在所述通道内，用于使冷却剂通过所述电极循环；和通道涂层，所述通道涂层设置在所述内表面上，用于保持所述电极与冷却剂之间的热传导性，其中所述电极还包括具有彼此隔开的第一端和第二端的轴以及设置在所述轴的所述第二端上的头部；并且其中所述头部具有外表面，并且头部涂层设置在所述头部的所述外表面上。