垂直集成的MEMS

摘要

本发明公开了一种形成微机电系统(MEMS)换能器的示范性系统和方法。根据本文公开的一个示范性实施例，该MEMS换能器由两个晶片形成，并且消除了检测质量和挠性件的厚度的相互影响，从而允许它们被独立设计。此外，本示范性系统和方法刻蚀晶片的两侧以限定检测质量和挠性件，从而允许光学对准顶部和底部晶片。

主权项

一种形成微机电系统MEMS的方法，包括：形成第一晶片(110，410)，包括从所述第一晶片(110，410)的至少顶表面和底表面移除材料以限定至少一个挠性构件(145，150，440)和至少一个检测质量(430)，所述至少一个检测质量包括与检测z方向上的移动相关的检测质量和与检测x‑y平面中的移动相关的检测质量；形成包含电子电路的第二晶片(120，420)；和将所述第一晶片(120，420)结合到所述第二晶片(120，420)，使得在所述第一晶片(110，410)和所述第二晶片(120，420)之间限定间隙；其中与检测z方向上的移动相关的检测质量的厚度和与检测x‑y平面中的移动相关的检测质量的厚度无关。