| 主权项 |
一种集中控制型六氟化硫气体净化处理装置，包括处理单元（100）和深冷单元（300），所述处理单元（100）包括第一吸附塔(5)和第二吸附塔(8)，所述深冷单元（300）包括深冷容器(53)，其特征是：还包括动力单元（200）；其中：所述处理单元（100）还包括第一高压散热器(1)、缓冲罐(2)、第一过滤器(3)、第二过滤器(9)、流量计(14)和碱液箱(13)，以及若干手动阀(V1、V2、V4、V5、V7、V8、V9、V10、V11)和若干高温两位三通阀(V3、V6、V12)；所述第一吸附塔(5)包括加热丝（10）和铂电阻(6)，所述第二吸附塔(8)包括另一加热丝（13）和另一铂电阻(7)，加热丝（10、13）呈“U”字形，安装在每个吸附塔(5、8)的内腔中，铂电阻(6、7)安装在每个吸附塔(5、8)的侧壁上；所述处理单元（100）设有：进气口（A）、钢瓶抽尾气口（C）和钢瓶抽真空口（D）,分别用于与被处理气体钢瓶连通；吸附剂再生冲氮口（B）,用于与氮气钢瓶连通；大气接口（H），用于与大气连通；第一二次处理接口（E1）、第一合格气接口（F1）、第一抽钢瓶尾气口（K1）、第一处理单元抽真空口（G1）、第一抽钢瓶抽尾口（L1）、第一真空泵口（I1）和第一排气口（J1）,分别用于与所述动力单元（200）连通；所述第一高压散热器(1)入口经第一手动阀(V1)接至所述进气口(A)，并经第二手动阀(V7)接至所述第一二次处理接口（E1），所述第一高压散热器(1)出口依次与所述缓冲罐(2)、第一过滤器(3)、第三手动阀(V2)、减压阀(4)、第一高温两位三通阀(V3)、第一吸附塔(5)、第四手动阀(V4)、第五手动阀(V5)、第二吸附塔(8)、第二过滤器(9)、第二高温两位三通阀(V6)和第六手动阀(V9)串联，第六手动阀(V9)的出口接至所述第一合格气接口（F1）；第四手动阀(V4)与第五手动阀(V5)的连接管路经第七手动阀(V8)接至所述吸附剂再生冲氮口（B）；第一高温两位三通阀(V3)的另一出口与第二高温两位三通阀(V6)的另一出口并联并经第三高温两位三通阀（V12）接至所述第一真空泵口（I1）；第二高温两位三通阀(V6)与第八手动阀(V9)的连接管路经第十手动阀(V10)接至所述第一处理单元抽真空口（G1）；第三高温两位三通阀（V12）的另一出口经第十一手动阀(V11)、流量计(14)和碱液箱(13)接至所述大气接口（H）；所述钢瓶抽真空口（D）与第一抽钢瓶抽尾口（L1）、钢瓶抽尾气口（C）与第一抽钢瓶尾气口（K1）分别通过管路相通；第三高温两位三通阀（V12）的另一出口与第 十一手动阀(V11)的连接管路接至所述第一排气口（J1）；所述动力单元（200）设有：第二二次处理接口（E2）、第二合格气接口（F2）、第二抽钢瓶尾气口（K2）、第二处理单元抽真空口（G2）、第二抽钢瓶抽尾口（L2）、第二真空泵口（I2）和第二排气口（J2）,分别用于与所述处理单元（100）连通；第三排气口（M1）、第一深冷单元抽真空口（P1）、第三二次处理接口（N1）和第一深冷容器接口（O1），分别用于与所述深冷单元（300）相通；所述动力单元（200）包括低压散热器(31)、吸附罐(34)、压缩机(36)、第二高压散热器（40）、储气罐(42)和真空泵(48)，以及若干手动阀(V21、V23、V25、V27、V29、V31、V32、V33、V36)、减压阀(32)、单向阀（41）和若干电磁阀(V22、V24、V26、V28、V30、V34、V35)，其中：第二十一手动阀(V21)的入口接至所述第二合格气接口（F2），第二十一手动阀(V21)的出口依次与第一电磁阀(V22)、减压阀(32)、吸附罐(34)、压缩机(36)、第二高压散热器（40）、第二电磁阀(V26)和第二十九手动阀(V27)串联，第二十九手动阀(V27)的出口接至所述第一深冷容器接口（O1）；第二十二手动阀(V23)的入口接至第二抽钢瓶尾气口（K2），第二十二手动阀(V23)的出口依次与低压散热器(31)、第三电磁阀(V24)、第二十三手动阀(V25)串联，第二十三手动阀(V25)的出口接至第三二次处理接口（N1），第二十二手动阀(V23)的出口与第一电磁阀(V22)的出口连通；所述第二高压散热器（40）与第四电磁阀(V28)、第二十四手动阀(V29)、单向阀（41）、储气罐(42)、第五电磁阀(V30)、第二十五手动阀(V31)串联，第二十五手动阀(V31)的出口接至所述第二二次处理接口（E2）；所述真空泵(48)入口接至所述第二真空泵口（I2）；第二十六手动阀(V33)接至所述第二抽钢瓶抽尾口（L2）；第二十七手动阀(V32)接至所述第二处理单元抽真空口（G2）；第二十六手动阀(V33)与第六电磁阀(V34)串联，所述真空泵(48)出口、第六电磁阀(V34)出口和第二十七手动阀(V32)出口并联并经第七电磁阀(V35)和第二十八手动阀(V36)接至所述第一深冷单元抽真空口（P1）；所述第二排气口（J2）与所述第三排气口（M1）相通；所述深冷单元（300）还包括深冷主机(54)和低温液泵（55），以及若干手动阀(V41、V42、V43、V44、V45、V47、V50)和若干电磁阀(V48、V51)；所述深冷容器(53)安装有液位报警器（52），所述液位报警器（52）采用振动拨叉式液 位装置；所述深冷单元（300）设有：第四排气口（M2）、第二深冷单元抽真空口（P2）、第四二次处理接口（N2）和第二深冷容器接口（O2），分别用于与所述动力单元（200）相通；灌钢瓶口（Q）,用于与合格气钢瓶连通；所述第一二次处理接口（E1）与所述第二二次处理接口（E2）、所述第一合格气接口（F1）与所述第二合格气接口（F2）、所述第一抽钢瓶尾气口（K1）与所述第二抽钢瓶尾气口（K2）、所述第一处理单元抽真空口（G1）与所述第二处理单元抽真空口（G2）、所述第一抽钢瓶抽尾口（L1）与所述第二抽钢瓶抽尾口（L2）、所述第一真空泵口（I1）与所述第二真空泵口（I2）、第一排气口（J1）与所述第二排气口（J2）、所述第三排气口（M1）与所述第四排气口（M2）、所述第一深冷单元抽真空口（P1）与所述第二深冷单元抽真空口（P2）、所述第三二次处理接口（N1）与所述第四二次处理接口（N2）以及所述第一深冷容器接口（O1）与所述第二深冷容器接口（O2）分别通过管路相通；所述深冷容器(53)与所述深冷主机(54)之间通过进冷气与回热气两根管路连接；所述深冷容器(53)分别经第三十一手动阀(V41)接至所述第四二次处理接口（N2），经第三十二手动阀(V42)接至所述第二深冷单元抽真空口（P2），经第八电磁阀(51)和第三十三手动阀(V43)接至所述第四排气口（M2），经第三十四手动阀(V44)接至所述第二深冷容器接口（O2），经第三十五手动阀(V47)、第九电磁阀(48)、低温液泵（55）、第三十六手动阀(V50)串联接至所述灌钢瓶口（Q）,经第三十七手动阀(V45)接至所述低温液泵（55）的另一出口。 |
