应变式压力传感器

摘要

本实用新型提供应变式压力传感器，包括基板，差压膜片，所述差压膜片的中心点与所述基板的中心点相重合，静压膜片，以所述基板的中心点为圆心均布在所述基板的边缘，且所述静压膜片都设置在所述基板的对角线上，应变片，所述应变片包括两组差压应变片和四个静压应变片。本实用新型的有益效果是结构简单、体积较小、高测量灵敏度。

主权项

应变式压力传感器，其特征在于：包括基板，所述基板为正方形且为多层结构，包括设置在中间的绝缘层、位于绝缘层上层的第一半导体层和位于绝缘层下层的第二半导体层，差压膜片，所述差压膜片为正方形且位于所述基板的中央部，所述差压膜片的中心点与所述基板的中心点相重合，且所述差压膜片的对角线和所述基板的对角线呈45°夹角，静压膜片，所述静压膜片为四个，以所述基板的中心点为圆心均布在所述基板的边缘，且所述静压膜片都设置在所述基板的对角线上，应变片，所述应变片包括两组差压应变片和四个静压应变片，每组所述差压应变片包括相互竖直设置且互不接触的两个应变片，两组差压应变片设置所述基板的对角线上，且分设在所述基板的中心点的两侧，每组差压应变片都有一个应变片设置在所述差压膜片的周缘部分，每个静压应变片设置在所述静压膜片的中央部分，且与所位于的所述基板的对角线相垂直。