一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置

摘要

一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置，该装置包括薄片V型托盘、晶圆夹子和凸起支撑。晶圆夹子包括支架、连杆、弹簧及滑块。当抓取晶圆时，晶圆边缘与滑块的斜面部分接触，其重力分力使滑块沿连杆向支架方向移动，并使弹簧压缩，晶圆夹在晶圆夹子中间。晶圆底面与四个凸起件的上表面接触，由凸起件支撑。晶圆边缘与滑块侧面接触，弹簧的变形对晶圆边缘产生一定的压力，夹紧晶圆使晶圆固定。通过改变托盘末端晶圆夹子的位置，可以实现不同直径尺寸晶圆的传输。利用弹簧增加了系统的柔性，避免了传输过程中托盘与晶圆边缘刚性接触所引起的晶圆破损。在抓取晶圆时，使晶圆落在滑块的倾斜部分范围内即可满足要求，因此允许末端执行器存在一定的定位误差。

主权项

一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置，其特征在于：所述装置含有一个薄片V型托盘（101），托盘左端和右端各安装有两个晶圆夹子（108）和两个凸起支撑块（106）；四个晶圆夹子(108)平均布置于一个与晶圆同心的圆周上；四个凸起支撑快（106）平均布置于一个与晶圆同心的圆周上；托盘右端两侧各有两个螺纹孔，托盘右端的两个晶圆夹子（108）位置根据晶圆直径尺寸的不同安装在不同螺纹孔中进行调整；凸起支撑块（106）上表面为平面，用以支撑晶圆；每个晶圆夹子（108）包括支架（102）、连杆（104）、弹簧（105）以及滑块（103）；支架（102）为圆柱形，与薄片V型托盘（101）为螺纹连接；滑块（103）开有通孔，沿连杆（104）作直线移动，滑块(103)侧面由倾斜部分与垂直部分组成；连杆（104）一端与支架固定连接，另一端支撑滑块；弹簧（105）套在连杆（104）上，一端与支架（102）固定连接，另一端与滑块（103）固定连接。