AUTOMATED PROCESS AND APPARATUS FOR PLANARIZATION OF TOPOGRAPHICAL SURFACES,申请号EP20040778118-传众专利搜索

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发明名称	AUTOMATED PROCESS AND APPARATUS FOR PLANARIZATION OF TOPOGRAPHICAL SURFACES
摘要
申请公布号	EP1644965(B1)	申请公布日期	2013.01.16
申请号	EP20040778118	申请日期	2004.07.09
申请人	BREWER SCIENCE, INC.	发明人	MCCUTCHEON, JEREMY, W.
分类号	B05D3/02;B05C11/02;B05D3/12;B30B5/02;B30B15/06;H01L;H01L21/3105	主分类号	B05D3/02
代理机构		代理人
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