发明名称 一种结型场效应晶体管的制作方法
摘要 本发明公开了一种结型场效应晶体管(JFET)的制作方法,包括:制作具有第二掺杂类型的栅极区;制作具有沟道尺寸的沟道区;制作具有第一掺杂类型的源极区;以及制作具有第一掺杂类型的漏极区,其中通过调节栅极区的布局宽度来控制沟道区的沟道尺寸。
申请公布号 CN102881593A 申请公布日期 2013.01.16
申请号 CN201210073370.9 申请日期 2012.03.20
申请人 成都芯源系统有限公司 发明人 郑志星
分类号 H01L21/336(2006.01)I 主分类号 H01L21/336(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种结型场效应晶体管(JFET)的制作方法,包括:制作具有第二掺杂类型的栅极区;制作具有沟道尺寸的沟道区;制作具有第一掺杂类型的源极区;以及制作具有第一掺杂类型的漏极区;其中通过调节栅极区的布局宽度来控制沟道区的沟道尺寸。
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