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发明名称
一种结型场效应晶体管的制作方法
摘要
本发明公开了一种结型场效应晶体管(JFET)的制作方法,包括:制作具有第二掺杂类型的栅极区;制作具有沟道尺寸的沟道区;制作具有第一掺杂类型的源极区;以及制作具有第一掺杂类型的漏极区,其中通过调节栅极区的布局宽度来控制沟道区的沟道尺寸。
申请公布号
CN102881593A
申请公布日期
2013.01.16
申请号
CN201210073370.9
申请日期
2012.03.20
申请人
成都芯源系统有限公司
发明人
郑志星
分类号
H01L21/336(2006.01)I
主分类号
H01L21/336(2006.01)I
代理机构
代理人
主权项
一种结型场效应晶体管(JFET)的制作方法,包括:制作具有第二掺杂类型的栅极区;制作具有沟道尺寸的沟道区;制作具有第一掺杂类型的源极区;以及制作具有第一掺杂类型的漏极区;其中通过调节栅极区的布局宽度来控制沟道区的沟道尺寸。
地址
611731 四川省成都市高新西区科新路8号
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