磷化镓多晶铸锭的方法

摘要

一种磷化镓多晶铸锭的方法，它包括以下步骤：将合成好的磷化镓多晶料放入石英容器内，加入王水加热去除表面的氧化物杂质，用去离子水冲净、烘干备用；将多晶料砸碎成小块，放入覆盖剂氧化硼；将坩埚放入高压单晶炉内，密封炉体，抽真空；检查炉体密封性；升温至合成料全部化完；逐步降温，缓慢放掉炉体内气体，使覆盖剂发泡后，再降温至常温；将铸锭料从炉体内取出，去掉上面的覆盖剂氧化硼；将铸锭好的磷化镓多晶料放入石英容器内，加入王水加热去除表面的杂质及富镓，用去离子水冲净、烘干备用。本发明的优点是：可将多晶料中镓的氧化物杂质的含量降低90％以上，由于多晶料中析出多余的镓，使多晶料中化学原子配比更接近1∶1，得到的透明、致密的多晶锭，单晶成品率由48％提高到62％。

主权项

一种磷化镓多晶铸锭的方法，其特征在于：它包括以下步骤：(1)将合成好的磷化镓多晶料放入石英容器内，加入盐酸与硝酸体积比为5∶1‑1∶1的王水至完全没过合成料，加热去除表面的氧化物杂质，用去离子水冲净，再用去离子水将料煮沸，拿出烘干备用；(2)将(1)中多晶料砸碎成小块，放入破碎成小块的覆盖剂氧化硼，多晶料与覆盖剂的重量比为40～55∶5～7；(3)将坩埚放入高压单晶炉内，密封炉体，抽真空，炉体内压力P在0∠P∠300帕之间；(4)向炉内冲入氮气检查炉体密封性；(5)用功率控制方法升温，速度为0.2‑0.4kW/min，待升到料化温度时，改为温度控制，所述的料化温度为1700‑‑1900℃；(6)用温度控制方法继续升温至合成料全部化完，控制坩埚在3‑‑10分钟内均匀的加速到25r/min；保持时间为140‑180分钟；(7)将埚转匀速地降至0，用温度控制方法逐步降温，至800～900度时缓慢放掉炉体内气体，使覆盖剂发泡后，再继续降温至常温；(8)将铸锭料从炉体内取出，去掉上面的覆盖剂氧化硼；(9)将铸锭好的磷化镓多晶料放入石英容器内，加入1∶1‑‑5∶1的王水至完全没过铸锭料，加热去除表面的杂质及富镓，用去离子水冲净，再用去离子水将铸锭料煮沸，拿出烘干后以备拉晶使用。