用于光学扫描对象的方法和设备

摘要

本发明涉及用于光学扫描对象的方法和设备。一种光学扫描对象的方法包括步骤：通过使探测设备和对象彼此相对地移位至连续的扫描位置处来用探测设备对对象的扫描区域进行光学扫描，所述扫描位置在对象平面内沿着扫描方向间隔扫描步长，在扫描位置处通过用光学成像设备将局部扫描区域从对象平面成像到成像平面内的探测表面上而生成多个扫描图像，通过图像处理将所述多个扫描图像分解为每个情况下的扫描部分图像，通过组合多个每个情况下的扫描部分图像生成组合结果图像，以及依照一个或多个预定的选择标准从组合结果图像中选择至少一个对象测量图像。本发明还涉及一种用于光学扫描对象的设备。

主权项

一种用于光学扫描对象的方法，其中该方法包括如下步骤：‑通过使探测设备(4，5)和对象(2)彼此相对地移位至连续的扫描位置处来借助于探测设备(4，5)对对象(2)的扫描区域进行光学扫描，所述扫描位置在对象平面内沿着扫描方向间隔开扫描步长的距离，‑在所述扫描位置处通过借助于光学成像设备将局部扫描区域从对象平面成像到成像平面内的探测表面上而生成多个扫描图像，其中所述局部扫描区域在所述对象平面内在扫描方向上具有比所述扫描步长更大的延度，‑通过图像处理将所述多个扫描图像分解为每个情况下的扫描部分图像，‑通过组合多个所述每个情况下的扫描部分图像而生成组合结果图像，以及‑依照一个或多个预定的选择标准从所述组合结果图像中选择至少一个对象测量图像。