一种薄膜烧蚀传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种薄膜烧蚀传感器及其制备方法，所述薄膜烧蚀传感器包括基底，设于基底上的过渡层，设于过渡层上的烧蚀电阻；所述烧蚀电阻包括引线焊接盘区；所述引线焊接盘区通过引线与转接板连接；所述烧蚀电阻上设有保护膜；所述基底上设有高度调节孔。本发明采用微机械加工技术制备该薄膜烧蚀传感器。根据本发明的薄膜烧蚀传感器制造工艺简单，可满足不同的测量精度要求。

主权项

一种薄膜烧蚀传感器，其特征在于，所述薄膜烧蚀传感器（1）包括基底（2），设于基底（2）上的过渡层（3），设于过渡层（3）上的烧蚀电阻（4）；所述烧蚀电阻（4）上设有保护膜（6）；所述烧蚀电阻（4）是由两个以上的电阻构成的电阻序列；所述电阻包括引线焊接盘区（5）；所述引线焊接盘区（5）通过引线（10）与转接板（13）连接；所述基底（2）材料为硅片、Al2O3陶瓷、硼硅玻璃中的至少一种；所述过渡层（3）材料为Ta2O5；所述保护膜（6）为电介质材料。