全滑膜阻尼电容式微机械陀螺

摘要

本发明公开了一种全滑膜阻尼电容式微机械陀螺，用来解决现有技术中陀螺检测梳齿在沿Y方向运动时与左、右变间距梳齿之间的压膜阻尼对陀螺灵敏度特性影响的问题，其特征在于，取消了原结构中由检测梳齿与左、右变间距梳齿组成的变间距敏感电容对，取而代之的是在无变形连接梁(56)外侧分别伸出一组检测梳齿(46)，检测电极梳齿(49)与检测梳齿(46)构成的梳齿检测电极对(51)，并通过检测电极(47)上的锚点固定在基体上。这样陀螺在工作过程中既实现了驱动模态与敏感模态之间的解耦，同时检测梳齿(46)在Y方向运动时与检测电极梳齿(49)之间形成滑膜阻尼，从而避免了压膜阻尼的产生和影响，因此，在实现陀螺解耦的同时显著提高了其灵敏度特性。

主权项

一种全滑膜阻尼电容式微机械陀螺，包括惯性质量平板框架(22)、驱动弯曲梁(52)、敏感弯曲梁(54)以及无变形连接梁(56)，惯性质量平板框架(22)由四根驱动弯曲梁(52)分别与两根无变形连接梁(56)连接，再由四根敏感弯曲梁(54)通过锚点(60)固连于基体；两根驱动梳齿梁(28)分别连接在内驱动弯曲梁(72)上，内驱动弯曲梁(72)固定在内锚点(96)上，连接在驱动梳齿梁(28)上的内敏感弯曲梁(74)的另一端与惯性质量平板框架(22)相连；驱动梳齿梁(28)的两侧分别伸出一组驱动梳齿(30)，驱动梳齿(30)与驱动施力电极(32)上伸出的驱动电极梳齿(34)交叠构成变面积的驱动施力电容对(36)，驱动梳齿(30)与驱动检测电极(40)上伸出的驱动检测梳齿(42)交叠构成变面积的驱动检测电容对(44)；驱动施力电极(32)和驱动检测电极(40)均通过锚点固定在基体上，其特征在于：无变形连接梁(56)外侧分别伸出一组检测梳齿(46)，检测电极(47)上的检测电极梳齿(49)与检测梳齿(46)构成梳齿检测电极对(51)，并通过锚点固定在基体上。