| 发明名称 | 一种触摸屏的刻蚀方法 | ||
| 摘要 | 本发明属于电子产品技术领域，具体地，本发明提供一种触摸屏的刻蚀方法，包括以下步骤：(1)在PET-ITO-铜膜复合材料的铜膜外侧涂覆感光胶，固化得到感光胶层，并进行第一次曝光及显影；(2)用铜膜刻蚀液对铜膜进行第一次刻蚀；(3)用ITO刻蚀液对ITO膜进行刻蚀；(4)对铜膜进行第二次曝光及显影；(5)用铜膜刻蚀液对铜膜进行第二次刻蚀。本发明的刻蚀方法避免了传统方法中铜膜被腐蚀的情况，并显著减小了铜电极线宽。 | ||
| 申请公布号 | CN102879998A | 申请公布日期 | 2013.01.16 |
| 申请号 | CN201210345409.8 | 申请日期 | 2012.09.18 |
| 申请人 | 深圳力合光电传感技术有限公司 | 发明人 | 杨春云;余汉水;郑志雄;陈凯;李益芳;黄海东 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I;G06F3/041(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人 | 张全文 |
| 主权项 | 一种触摸屏的刻蚀方法，包括以下步骤：(1)在PET‑ITO‑铜膜复合材料的铜膜外侧涂覆感光胶，固化得到感光胶层，并进行第一次曝光及显影；(2)用铜膜刻蚀液对所述铜膜进行第一次刻蚀；(3)用ITO刻蚀液对所述ITO膜进行刻蚀；(4)对所述铜膜进行第二次曝光及显影；(5)用铜膜刻蚀液对所述铜膜进行第二次刻蚀。 | ||
| 地址 | 518132 广东省深圳市光明新区公明办事处长圳社区长兴科技工业园16栋一至三层 | ||