基板检查装置和基板检查方法

摘要

本发明提供一种可以恰当地评价布线图案的电阻值的偏差等并可以确定布线图案的导通检查的恰当的判定基准值的基板检查装置等。所述基板检查装置(1)针对由分别形成有多个布线图案的多个单位基板相连而成的片状基板执行与片状基板内的单位基板的布线图案的导通性相关的评价。电阻测量部(17)经由第一检查夹具(13)和第二检查夹具(14)来测量在布线图案上设定的两个测量位置间的电阻值。控制部(11)的测量电阻值评价部(113)以将评价单位片状基板作为评价单位而设定的各个布线图案的基准电阻值为基准，计算由电阻测量部(17)所测量的评价单位片状基板内的各个单位基板的各个布线图案的测量电阻值的偏离度。

主权项

一种针对由分别形成有多个布线图案的多个单位基板相连而成的片状基板执行与所述片状基板内的所述单位基板的所述布线图案的导通性相关的评价的基板检查装置，其特征在于具备：保持所述片状基板的基板保持机构；具有多个探针的探针单元，所述多个探针分别与在由所述基板保持机构所保持的所述片状基板内的至少一个所述单位基板的所述布线图案上设定的两个测量位置相接触；电阻测量部，所述电阻测量部经由所述探针单元的所述探针来测量在所述布线图案上设定的所述两个测量位置间的电阻值；以及测量电阻值评价部，所述测量电阻值评价部以规定的基准电阻值为基准，计算由所述电阻测量部所测量的规定的评价单位片状基板内的各个所述单位基板的各个所述布线图案的测量电阻值的偏离度。