发明名称 |
一种用于黑硅的宽波段范围减反射方法 |
摘要 |
本发明提供了一种用于黑硅的宽波段减反射方法,包括以下步骤:1)在黑硅表面上制备一层中间层,其中所述黑硅为具有陷光结构的硅;2)在步骤1)得到的中间层上沉积金属纳米颗粒,该金属纳米颗粒为不连续的或互不接触;3)对步骤2)得到的产物进行退火处理。该方法操作简单,成本低廉,该方法有效地结合黑硅技术、表面隔离保护技术及表面等离子体技术,实现了宽波段范围内的减反射效果,有利于应用在太阳能电池的工业化生产上。 |
申请公布号 |
CN102881769A |
申请公布日期 |
2013.01.16 |
申请号 |
CN201210350141.7 |
申请日期 |
2012.09.19 |
申请人 |
中国科学院物理研究所 |
发明人 |
王燕;刘尧平;叶大千;梅增霞;杜小龙 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 |
代理人 |
王勇;王博 |
主权项 |
一种用于黑硅的宽波段减反射方法,该方法包括以下步骤:1)在黑硅表面上制备一层中间层,其中所述黑硅为具有陷光结构的硅;2)在步骤1)得到的中间层上沉积金属纳米颗粒,该金属纳米颗粒为不连续的或互不接触;3)对步骤2)得到的产物进行退火处理。 |
地址 |
100190 北京市海淀区中关村南三街8号 |