发明名称 一种用于黑硅的宽波段范围减反射方法
摘要 本发明提供了一种用于黑硅的宽波段减反射方法,包括以下步骤:1)在黑硅表面上制备一层中间层,其中所述黑硅为具有陷光结构的硅;2)在步骤1)得到的中间层上沉积金属纳米颗粒,该金属纳米颗粒为不连续的或互不接触;3)对步骤2)得到的产物进行退火处理。该方法操作简单,成本低廉,该方法有效地结合黑硅技术、表面隔离保护技术及表面等离子体技术,实现了宽波段范围内的减反射效果,有利于应用在太阳能电池的工业化生产上。
申请公布号 CN102881769A 申请公布日期 2013.01.16
申请号 CN201210350141.7 申请日期 2012.09.19
申请人 中国科学院物理研究所 发明人 王燕;刘尧平;叶大千;梅增霞;杜小龙
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人 王勇;王博
主权项 一种用于黑硅的宽波段减反射方法,该方法包括以下步骤:1)在黑硅表面上制备一层中间层,其中所述黑硅为具有陷光结构的硅;2)在步骤1)得到的中间层上沉积金属纳米颗粒,该金属纳米颗粒为不连续的或互不接触;3)对步骤2)得到的产物进行退火处理。
地址 100190 北京市海淀区中关村南三街8号