液体喷射头及其制造方法

摘要

本发明提供能够防止基板的破裂，并且，能够高精度地形成贮存器部的液体喷射头及其制造方法。具备：排列设置有多个与喷射液滴的喷嘴连通的压力产生室的流路形成基板；向压力产生室(12)内赋予压力的压力产生机构；与流路形成基板的一面接合的接合基板，流路形成基板由面方位(110)的硅单晶基板构成，压力产生室的沿长边方向的端面由与(110)面垂直的第一(111)面构成，另一方面，接合基板由面方位(110)的硅单晶基板构成，并且，以与接合基板的(110)面垂直的第一(111)面、和流路形成基板的第一(111)面交叉的朝向接合于流路形成基板。

主权项

一种液体喷射头，其特征在于，具备：流路形成基板，其排列设置有多个与喷射液滴的喷嘴连通的压力产生室；压力产生机构，其向所述压力产生室内赋予压力；接合基板，其接合于所述流路形成基板的一面，所述流路形成基板由面方位(110)的硅单晶基板形成，所述压力产生室的沿长边方向的端面由与(110)面垂直的第一(111)面形成，另一方面，所述接合基板由面方位(110)的硅单晶基板形成，并且，所述接合基板以该接合基板的与(110)面垂直的第一(111)面和所述流路形成基板的第一(111)面交叉的朝向接合于所述流路形成基板。