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发明名称 加工装置
摘要
申请公布号 JP5922972(B2) 申请公布日期 2016.05.24
申请号 JP20120085300 申请日期 2012.04.04
申请人 株式会社村田製作所;株式会社シンターランド 发明人 八戸 啓;佐藤 智宏
分类号 H01L21/02;B30B11/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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