发明名称 Electric contact for testing materials seated on the insulating substrate
摘要 Przedmiotem wynalazku jest kontakt elektryczny do badania materiałów osadzonych na podłożu izolacyjnym, zwłaszcza takich materiałów jak azotek galu GaN, tlenek cynku ZnO, czy indowo - galowy tlenek cynku IGZO. Kontakt elektryczny ma kontakt omowy (4) oraz kontakt prostujący (3), znajdujące się na badanej warstwie (2). Kontakt omowy (4) tworzy warstwa stopu eutektycznego galu, indu i cyny, znajdująca się między badaną warstwą (3) a elektrodą pomiarową (5). Natomiast kontakt prostujący (3) rtęć z kapilary sondy rtęciowej, przy czym powierzchnia kontaktu omowego jest co najmniej dziesięć razy większa niż powierzchnia kontaktu prostującego.
申请公布号 PL410263(A1) 申请公布日期 2016.06.06
申请号 PL20140410263 申请日期 2014.11.26
申请人 INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ 发明人 JUNG WOJCIECH
分类号 H01L21/44;H01L21/66 主分类号 H01L21/44
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利