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发明名称 LITHOGRAPHY MACHINE AND SUBSTRATE HANDLING ARRANGEMENT
摘要
申请公布号 EP2399271(B1) 申请公布日期 2013.01.16
申请号 EP20100704835 申请日期 2010.02.22
申请人 MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V. 发明人 DE BOER, GUIDO;BALTUSSEN, SANDER;DE JONG, HENDRIK JAN
分类号 H01J37/317;B82Y10/00;H01J37/16;H01J37/18;H01L21/00;H01L21/67;H01L21/677 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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