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发明名称
摘要
申请公布号
JP5121142(B2)
申请公布日期
2013.01.16
申请号
JP20050505936
申请日期
2004.04.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/336;H01L21/318;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/78
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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