制造多晶锭的系统和方法

摘要

本发明公开了一种制造多晶锭的系统，所述系统包括：上炉体；下炉体；坩埚，所述坩埚设置在炉体空间内并被构造成容纳给料；至少一个加热器，用于加热坩埚并熔化容纳在坩埚中的给料；坩埚保持器，用于保持所述坩埚；坩埚支座，容纳有所述坩埚的所述坩埚保持器设置在所述坩埚支座上；隔热部件，所述隔热部件容纳在所述炉体空间内，并被构造成相对于所述坩埚纵向可移动；以及换热单元，所述换热单元用于控制来自坩埚底部的热量耗散，并在多晶锭凝固和/或冷却的过程中在坩埚支座之下形成用于散热的流路。本发明还公开了一种通过定向凝固制造多晶锭的方法。根据本发明的系统和方法，可以在保证多晶锭的质量的同时，提高整个多晶锭的生产效率。

主权项

一种制造多晶锭的系统，所述系统包括：上炉体；下炉体，所述下炉体与所述上炉体相配合以形成炉体空间；坩埚，所述坩埚设置在炉体空间内并被构造成容纳给料；至少一个加热器，所述加热器用于加热坩埚并熔化容纳在坩埚中的给料；坩埚保持器，所述坩埚保持器用于保持所述坩埚；坩埚支座，容纳有所述坩埚的所述坩埚保持器设置在所述坩埚支座上；隔热部件，所述隔热部件容纳在所述炉体空间内，并被构造成相对于所述坩埚纵向可移动，以控制所述坩埚内的多晶硅锭的定向凝固；以及换热单元，所述换热单元设置在所述坩埚支座之下，用于控制来自坩埚底部的热量耗散，并在多晶锭凝固和/或冷却的过程中在坩埚支座之下形成用于散热的流路。