基板清洗方法及基板清洗装置

摘要

一边向清洗喷嘴(60)的筒状体(61)内部供给清洗液一边关闭阀(76)，由压电元件(62)对清洗液赋予振动，从而从多个喷出孔(64)生成并喷出清洗液的液滴。所喷出的液滴的液滴直径为15μm以上且200μm以下，其分布以3σ表示处于平均液滴直径的10％以下。另外，液滴速度为每秒20米以上且每秒100米以下，其分布以3σ表示处于平均液滴速度的10％以下。并且，液滴流量为每分钟10毫升以上。如果一边满足这些喷出条件一边从清洗喷嘴60向基板喷出清洗液的液滴，则能够在不对基板造成损伤的情况下提高清洗效率。

主权项

一种基板清洗方法，向基板(W)喷出清洗液的液滴来进行清洗，其特征在于，向在壁面上穿设有多个喷出孔(64、164、264、364)的筒状体(61、161、261、361)以高压填充清洗液，并且，在所述壁面上贴设的压电元件反复膨胀收缩，对所述筒状体内部的清洗液赋予规定频率的振动，从而从所述多个喷出孔向基板喷出清洗液的液滴，所述清洗液的液滴的平均液滴直径为15μm以上且200μm以下，液滴直径的分布以3σ表示处于所述平均液滴直径的10％以下，并且，平均液滴速度为每秒20米以上且每秒100米以下，液滴速度的分布以3σ表示处于所述平均液滴速度的10％以下，其中，σ为标准偏差。