一种氧化钒复合薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种氧化钒复合薄膜及其制备方法，其特征在于，该薄膜为氧化钒－富勒烯－碳纳米管三元复合薄膜，即由二维的氧化钒与零维的富勒烯以及一维的碳纳米管三种成分相复合而成。与单纯的氧化钒薄膜、或氧化钒－碳纳米管、氧化钒－富勒烯等两元复合薄膜相比，这种氧化钒－富勒烯－碳纳米管三元复合薄膜能综合三种成分的优点，具备更加优良的电学及光学等性能；而且，通过氧化钒、富勒烯、碳纳米管三种成分之间的比例调节，可以更加灵活、更加准确地控制复合薄膜的性能。采用这种氧化钒－富勒烯－碳纳米管三元复合薄膜作为太赫兹探测器或红外探测器的热敏电阻材料及光吸收材料，能够提高器件的综合性能。

主权项

一种氧化钒复合薄膜，用于非制冷太赫兹探测器、或非制冷红外探测器，其特征在于，该氧化钒复合薄膜是由两维氧化钒和零维富勒烯以及一维碳纳米管三种成分相复合而成的氧化钒－富勒烯－碳纳米管三元复合薄膜，其中氧化钒复合薄膜中含有的氧化钒为非晶态、或微晶态、纳米晶态，氧化钒的分子式表示为VOx，其中，x满足1≤x≤2.5；含有的富勒烯为原始的满足n≥20的全碳中空笼状富勒烯分子Cn、富勒烯衍生物、已功能化的富勒烯、已功能化的富勒烯衍生物当中的一种或者几种；含有的碳纳米管为原始的、或者是已功能化的单壁或多壁碳纳米管，碳纳米管的直径为1~50 nm，碳纳米管的长度为10~30000 nm。