发明名称 Liquid precursor for depositing group 4 metal containing films
摘要
申请公布号 EP2330109(B1) 申请公布日期 2013.01.16
申请号 EP20100193948 申请日期 2010.12.07
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 LEI, XINJIAN;NORMAN, JOHN ANTHONY THOMAS;SPENCE, DANIEL P.
分类号 C07F7/00;C07F17/00;C23C16/455 主分类号 C07F7/00
代理机构 代理人
主权项
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