接触式探针

摘要

提供一种能够实现与被测器件(特别是被测器件中含有的Sn)的低附着性，并且能够长期保持稳定接触电阻的接触式探针和具有它的连接装置。本发明涉及一种与电极反复接触的接触式探针，其中，在与电极接触的所述接触式探针的表面，形成有含有金属元件的碳被膜，所述金属元素在碳被膜表面的浓度比碳被膜整体的平均浓度低。

主权项

一种接触式探针，其特征在于，是与电极反复接触的接触式探针，其中，在与电极接触的所述接触式探针表面形成有含有金属元素的碳被膜，所述金属元素在碳被膜表面的浓度比碳被膜全体的平均浓度低。