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发明名称
摘要
申请公布号
JP5122728(B2)
申请公布日期
2013.01.16
申请号
JP20050001003
申请日期
2005.01.05
申请人
发明人
分类号
H01L31/0248;G01B11/00;G01J1/02;G01J1/42;G01S17/32;G01S17/89;H01L27/146;H01L27/148;H01L31/00;H03K17/945;H04N5/335;H04N5/355;H04N5/369;H04N5/372;H04N5/376
主分类号
H01L31/0248
代理机构
代理人
主权项
地址
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