发明名称 |
采用液相生长法的ZnO单晶的制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种采用液相生长法的ZnO单晶的制造方法,其特征在于,使作为溶质的ZnO与作为溶剂的PbF2及PbO或与作为溶剂的PbO及Bi2O3混合熔解,然后,使种晶或基板与该熔液直接接触,从而使ZnO单晶在种晶上或基板上生长。本发明提供一种用液相生长法制造位错、缺陷、着色等少的高品质的ZnO单晶的方法。 |
申请公布号 |
CN102251281B |
申请公布日期 |
2013.01.16 |
申请号 |
CN201110180017.6 |
申请日期 |
2007.02.28 |
申请人 |
三菱瓦斯化学株式会社 |
发明人 |
关和秀幸;小林纯;宫本美幸 |
分类号 |
C30B29/16(2006.01)I;C30B9/12(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I;C30B19/02(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/16(2006.01)I |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 72003 |
代理人 |
崔香丹;张永康 |
主权项 |
一种采用液相生长法的ZnO单晶的制造方法,其特征在于,使作为溶质的ZnO与作为溶剂的PbO及Bi2O3混合熔解,然后,使种晶或基板与得到的熔液直接接触,从而使ZnO单晶在种晶上或基板上生长,并且,所述ZnO与作为溶剂的PbO及Bi2O3的混合比为溶质∶溶剂=5~30mol%∶95~70mol%,作为溶剂的PbO及Bi2O3的混合比为PbO∶Bi2O3=0.1~95mol%∶99.9~5mol%。 |
地址 |
日本东京都 |