电子显微镜用高压箱的换气装置

摘要

本发明公开一种电子显微镜用高压箱的换气装置，属于为高压箱换气使用的换气装置。该换气装置包括：四通组件、充气管路、抽气管路、排气管路和高压箱连接管路；四通组件设有四个管接头，每个管接头上均设有真空手动隔断阀；其中第一管接头与用于连接抽气装置的抽气管路连接；第二管接头与用于连接六氟化硫气体储气罐或氮气储气罐的充气管路连接；第三管接头与用于排出高压箱内气体的排气管路连接；第四管接头与用于连接高压箱的高压箱连接管路连接。该换气装置具有结构简单，换气操作方便，密封性好，安全可靠，可保证充入到高压箱内SF6气体的纯净度，也避免了对SF6气体的浪费。

主权项

一种电子显微镜用高压箱的换气装置，其特征在于，包括：四通组件、充气管路、抽气管路、排气管路和高压箱连接管路；四通组件设有四个管接头，每个管接头上均设有真空手动隔断阀；其中第一管接头与用于连接抽气装置的抽气管路连接；第二管接头与用于连接六氟化硫气体储气罐或氮气储气罐的充气管路连接；第三管接头与用于排出高压箱内气体的排气管路连接；第四管接头与用于连接高压箱的高压箱连接管路连接。