发明名称 |
一种双结构绒面透明导电电极的制备方法 |
摘要 |
本发明涉及一种双结构绒面透明导电电极的制备方法,属于薄膜太阳电池制造技术领域。技术方案是首先采用薄膜沉积技术在基片(1)上制备透明导电氧化物,称之为TCO透明导电薄膜(2),利用湿法刻蚀的方法对其薄膜表面进行刻蚀;通过改变工艺参数,来获得尺寸较大的绒面织构,称之为绒面织构的TCO薄膜(3);其次,在此绒面织构的TCO薄膜表面,采用镀膜技术,沉积BZO透明导电薄膜(4),通过调整BZO透明导电薄膜沉积参数来获得尺寸较小的绒面织构,使整个透明电极具有双结构的绒面织构,应用于薄膜太阳能电池,对可见光和近红外光均能实现有效的光散射,拓宽电池对太阳光谱的充分利用。 |
申请公布号 |
CN102270705B |
申请公布日期 |
2013.01.16 |
申请号 |
CN201110223612.3 |
申请日期 |
2011.08.05 |
申请人 |
保定天威集团有限公司 |
发明人 |
贾海军;张丽;潘清涛;宋鑫;胡增鑫;麦耀华 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
唐山顺诚专利事务所 13106 |
代理人 |
于文顺 |
主权项 |
一种双结构绒面透明导电电极的制备方法,其特征在于包含如下工艺步骤:首先采用薄膜沉积技术在基片(1)上制备透明导电氧化物,称之为TCO透明导电薄膜(2),利用湿法刻蚀的方法对其薄膜表面进行刻蚀;通过改变工艺参数,来获得尺寸较大的绒面织构,称之为绒面织构的TCO薄膜(3);其次,在此绒面织构的TCO薄膜表面,采用镀膜技术,沉积BZO透明导电薄膜(4),通过调整BZO透明导电薄膜沉积参数来获得尺寸较小的绒面织构,使整个透明电极具有双结构的绒面织构,应用于薄膜太阳能电池,对可见光和近红外光均能实现有效的光散射。 |
地址 |
071051 河北省保定市银杏路198号金迪花园综合楼 |