| 摘要 |
一実施形態は、基板上に形成される増幅器と、（ａ）複数のフィンを含む複数のトランジスタであり、複数のフィンのそれぞれは、共通のソースコンタクトおよびドレインコンタクトに連結されるソースノードとドレインノードとの間にチャネルを有する、複数のトランジスタと、（ｂ）複数のフィンのそれぞれに連結され、かつソースコンタクトとドレインコンタクトとの間に配置される共通の第１のトライゲートおよび第２のトライゲートと、を含む、基板上に形成されるマルチゲート共振チャネルアレイと、を備える発振器を含み、第１のトライゲートおよび第２のトライゲートのうちの１つが周期的に活性化されて、複数のフィン上に複数の周期的な下向きの力を生成するとき、複数のフィンは、第１の振動数で機械的に共振する。複数の他の実施形態は、ソースノードとドレインノードとの間のチャネル、およびフィン上のトライゲートを有する非平面型トランジスタを含み、第１のトライゲートが周期的に活性化されて、フィン上に複数の周期的な下向きの力を生成するとき、フィンは機械的に共振する。複数の他の実施形態が本明細書において記載される。 |
