| 摘要 |
太陽電池に適した透明導電膜を高速成膜することができ、かつクラックや割れ、あるいはスプラッシュを起こさずに成膜を継続することのできるイオンプレーティング用タブレット、それを得るための酸化インジウムを主成分とし、スズを添加元素として特定量含有する酸化物焼結体を提供。酸化インジウムを主成分とし、スズを添加元素として含有し、スズの含有量がＳｎ／（Ｉｎ＋Ｓｎ）原子数比で０．００１〜０．１５である酸化物焼結体であって、該酸化物焼結体は、スズの含有量が酸化物焼結体の平均スズ含有量未満の結晶粒（Ａ）、およびスズの含有量が酸化物焼結体の平均スズ含有量以上の結晶粒（Ｂ）によって主として構成され、結晶粒（Ｂ）と結晶粒（Ａ）の平均スズ含有量の差がＳｎ／（Ｉｎ＋Ｓｎ）原子数比で０．０１５以上であり、かつ密度が３．４〜５．５ｇ／ｃｍ３であることを特徴とする酸化物焼結体などによって提供する。 |
