发明名称 一种采用滴涂法制作氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜的方法
摘要 本发明公开了一种采用滴涂法制作氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜的方法,用于检测NO2气体,该方法包括:对氧化锌进行进行研磨;将研磨后的氧化锌掺杂酞菁靶,并制成混合溶液;对该混合溶液进行超声振荡;在双延迟线型振荡器的一条延迟线的敏感区域滴涂该混合溶液;真空干燥,形成氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜。本发明提供的采用滴涂法制作氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜的方法,通过将PbPc作为敏感材料去尝试制作敏感膜,使得常温下使用酞菁材料去检测NO2气体变为可能,而且PbPc/ZnO传感器与纯的PbPc传感器相比,灵敏度和选择性也会有一定的提高。
申请公布号 CN102879466A 申请公布日期 2013.01.16
申请号 CN201110198635.3 申请日期 2011.07.15
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 李冬梅;汪幸;刘明;周文;侯成诚;闫学锋;谢常青
分类号 G01N29/036(2006.01)I;B05D7/24(2006.01)I;B05C11/10(2006.01)I 主分类号 G01N29/036(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 周国城
主权项 一种采用滴涂法制作氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜的方法,用于检测NO2气体,其特征在于,该方法包括:对氧化锌进行进行研磨;将研磨后的氧化锌掺杂酞菁靶,并制成混合溶液;对该混合溶液进行超声振荡;在双延迟线型振荡器的一条延迟线的敏感区域滴涂该混合溶液;真空干燥,形成氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜。
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