发明名称 |
一种采用滴涂法制作氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种采用滴涂法制作氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜的方法,用于检测NO2气体,该方法包括:对氧化锌进行进行研磨;将研磨后的氧化锌掺杂酞菁靶,并制成混合溶液;对该混合溶液进行超声振荡;在双延迟线型振荡器的一条延迟线的敏感区域滴涂该混合溶液;真空干燥,形成氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜。本发明提供的采用滴涂法制作氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜的方法,通过将PbPc作为敏感材料去尝试制作敏感膜,使得常温下使用酞菁材料去检测NO2气体变为可能,而且PbPc/ZnO传感器与纯的PbPc传感器相比,灵敏度和选择性也会有一定的提高。 |
申请公布号 |
CN102879466A |
申请公布日期 |
2013.01.16 |
申请号 |
CN201110198635.3 |
申请日期 |
2011.07.15 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
李冬梅;汪幸;刘明;周文;侯成诚;闫学锋;谢常青 |
分类号 |
G01N29/036(2006.01)I;B05D7/24(2006.01)I;B05C11/10(2006.01)I |
主分类号 |
G01N29/036(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
周国城 |
主权项 |
一种采用滴涂法制作氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜的方法,用于检测NO2气体,其特征在于,该方法包括:对氧化锌进行进行研磨;将研磨后的氧化锌掺杂酞菁靶,并制成混合溶液;对该混合溶液进行超声振荡;在双延迟线型振荡器的一条延迟线的敏感区域滴涂该混合溶液;真空干燥,形成氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |