| 发明名称 | 一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上导电膜层的装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上导电膜层的装置，所述装置包含有激光刻蚀设备，所述激光刻蚀设备包含有激光器（1）、光闸（2）、1/2波片（3）、格兰棱镜（4）、扩束镜（5）、全反镜片（6）、振镜系统（7）和远心场镜（8），所述激光器（1）发出的激光依次经光闸（2）、1/2波片（3）和格兰棱镜（4）后射入扩束镜（5）对光束进行同轴扩束，经扩束镜（5）扩束准直后的激光到达全反镜片（6），经全反镜片（6）反射后的激光射入振镜系统（7），射出振镜系统（7）的激光经远心场镜（8）后聚焦到被吸附于真空吸附平台（13）上的待加工件（12）上。本实用新型一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上导电膜层的装置，加工简单、效率高且无需耗材。 | ||
| 申请公布号 | CN202667927U | 申请公布日期 | 2013.01.16 |
| 申请号 | CN201220266380.X | 申请日期 | 2012.06.07 |
| 申请人 | 江阴德力激光设备有限公司 | 发明人 | 赵裕兴;狄建科;张伟;益凯劼;张子国;蔡仲云;闫华 |
| 分类号 | B23K26/36(2006.01)I;B23K26/06(2006.01)I;B23K26/16(2006.01)I;B23K26/42(2006.01)I | 主分类号 | B23K26/36(2006.01)I |
| 代理机构 | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人 | 唐纫兰;沈国安 |
| 主权项 | 一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上导电膜层的装置，其特征在于：所述装置包含有激光刻蚀设备，所述激光刻蚀设备包含有激光器（1）、光闸（2）、1/2波片（3）、格兰棱镜（4）、扩束镜（5）、全反镜片（6）、振镜系统（7）和远心场镜（8），所述激光器（1）发出的激光依次经光闸（2）、1/2波片（3）和格兰棱镜（4）后射入扩束镜（5）对光束进行同轴扩束，经扩束镜（5）扩束准直后的激光到达全反镜片（6），经全反镜片（6）反射后的激光射入振镜系统（7），射出振镜系统（7）的激光经远心场镜（8）后聚焦到被吸附于真空吸附平台（13）上的待加工件（12）上。 | ||
| 地址 | 214434 江苏省无锡市江阴市城东街道金山路201号数码港C座1楼 | ||