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发明名称
ポリシランの製造方法および製造装置
摘要
本発明は、モノシランの水素の存在下でのプラズマ中における転化によるポリシランの製造方法ならびに該方法の実施のための装置に関する。
申请公布号
JP2016522140(A)
申请公布日期
2016.07.28
申请号
JP20160509335
申请日期
2014.02.28
申请人
エボニック デグサ ゲーエムベーハーEvonik Degussa GmbH
发明人
ユルゲン エルヴィン ラング;ハルトヴィッヒ ラウレーダー;エッケハート ミュー
分类号
C01B33/04
主分类号
C01B33/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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