炉管通气炬

摘要

一种炉管通气炬，包括：进气通路、排气通路、气体加热腔、卡凸和夹具，其中，所述进气通路与外部供气管连接，所述卡凸位于所述进气通路外壁，所述夹具夹持卡凸和外部供气管，固定进气通路和外部供气管。本实用新型在炉管通气炬进气通路外壁设置卡凸，并通过夹具将卡凸与外部供气管夹持，提高进气通路与外部供气管连接的牢固性，避免外部供气管脱落对炉管所在车间环境以及炉管中晶圆质量造成影响，提高了炉管的正常工作时间。

主权项

一种炉管通气炬，包括进气通路，所述进气通路与外部供气管连接，其特征在于，还包括：卡凸，所述卡凸位于所述进气通路外壁上；夹具，用于夹持所述卡凸和外部供气管，固定进气通路和外部供气管。