.Pattern structure and method for forming the same

摘要

패턴 구조물 및 이의 형성 방법에 관한 것으로, 상기 패턴 구조물은 연장 라인과, 상기 연장 라인의 일 단부와 연결되고, 상기 연장 라인보다 넓은 폭을 갖고, 일 측방으로 돌출되는 돌출부를 갖는 패드를 포함한다. 상기 패턴 구조물은 간단한 공정에 의해 제조될 수 있으며, 반도체 소자에 포함되는 다양한 미세 패턴에 사용될 수 있다.