一种集成倾角可控MEMS微镜的器件

摘要

本发明公开了一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，包括MEMS微镜、基底、电引线，所述电引线设置于所述基底上，所述MEMS微镜与所述基底之间连接有驱动臂，所述MEMS微镜底部无支撑地悬空设置，所述驱动臂上集成设置有反馈电路，以实时反馈MEMS微镜的偏转角度。该器件的MEMS微镜与入射光源成一定角度倾斜，无需额外基座，且其倾斜角度可以自由控制；单片MEMS微镜集成，MEMS微镜的电连接设置于基底上，方便操作。

主权项

一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，包括MEMS微镜（1）、基底（3）、电引线（31），所述电引线（31）设置于所述基底（3）上，其特征在于：所述MEMS微镜（1）与所述基底（3）之间连接有驱动臂（2），所述MEMS微镜（1）底部无支撑地悬空设置。