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发明名称
摘要
申请公布号	JP5122476(B2)	申请公布日期	2013.01.16
申请号	JP20080545707	申请日期	2006.12.06
申请人		发明人
分类号	H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/78;H01L29/786	主分类号	H01L21/336
代理机构		代理人
主权项
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