| 发明名称 | SF<sub>6</sub>气体回收装置的气路结构 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种SF6气体回收装置的气路结构，包括压缩机、真空泵、无油真空泵、净化器、换热器、干燥活化器，所述压缩机通过管路与净化器连接，无油真空泵通过管路与干燥活化器连接，所述干燥活化器与换热器连通，所述真空泵与换热器连接，所述净化器与真空泵连接。本实用新型结构紧凑、控制精准。 | ||
| 申请公布号 | CN202674830U | 申请公布日期 | 2013.01.16 |
| 申请号 | CN201220155097.X | 申请日期 | 2012.04.13 |
| 申请人 | 常州埃依琦科技有限公司 | 发明人 | 史晓;谭阳 |
| 分类号 | F17D1/02(2006.01)I | 主分类号 | F17D1/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种SF6气体回收装置的气路结构，其特征在于：包括压缩机、真空泵、无油真空泵、净化器、换热器、干燥活化器，所述压缩机通过管路与净化器连接，无油真空泵通过管路与干燥活化器连接，所述干燥活化器与换热器连通，真空泵与换热器连接，所述净化器与真空泵连接。 | ||
| 地址 | 213022 江苏省常州市新北区科技园2号楼D502 | ||