一种带有聚焦栅极的碳纳米管场发射阵列

摘要

一种带有聚焦栅极的碳纳米管场发射阵列，包括基板、位于基板上的栅极底电极，绝缘层薄膜、作为阴极的网格状碳纳米管阵列，作为栅极的点状碳纳米管阵列，网格状碳纳米管阵列阴极的底电极在绝缘层薄膜上；绝缘层薄膜位于阴极的底电极和栅极底电极之间，点状碳纳米管位于网格状碳纳米管阵列网格状孔的中心位置，点状碳纳米管与栅极底电极电学相连。本方案给碳纳米管阵列中每一个碳纳米管单元都设置一个聚焦电极，得到发射电子束束径小的场发射阴极。适用于对电子束束径要求较高的场发射器件，例如，X射线源、微波放大器、场发射扫描电子显微镜等中的电子源。

主权项

一种带有聚焦栅极的碳纳米管场发射阵列，其特征是包括基板、位于基板上的栅极底电极，绝缘层薄膜、作为阴极的网格状碳纳米管阵列，作为栅极的点状碳纳米管阵列，网格状碳纳米管阵列阴极的底电极在绝缘层薄膜上，绝缘层薄膜位于阴极的底电极和栅极底电极之间，点状碳纳米管与栅极底电极电学相连；绝缘层薄膜带有圆孔状阵列，圆孔区域没有绝缘层；点状碳纳米管穿过圆孔并位于网格状碳纳米管阵列网格状孔的中心位置；当给栅极施加一个正电压的时候，电子从阴极发射出来，向栅极汇聚。