发明名称 |
半导体器件精细图案的制作方法 |
摘要 |
本发明提供了一种半导体器件精细图案的制作方法,所述精细图案为相间排列的间隔和线。本发明采用对有机层两侧进行离子注入的方式,形成硬化的侧壁层,然后灰化去除硬化侧壁层之间的未被注入的有机层,该硬化的侧壁层宽度即为精细图案的线宽,硬化侧壁层之间的空隙即为精细图案的间隔。采用本发明的制作方法在确保精细图案准确度的情况下,大大简化了自对准双图案技术。 |
申请公布号 |
CN102347217B |
申请公布日期 |
2013.01.16 |
申请号 |
CN201010245580.2 |
申请日期 |
2010.07.27 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
何其旸;张翼英 |
分类号 |
H01L21/027(2006.01)I;H01L21/311(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/027(2006.01)I |
代理机构 |
北京德琦知识产权代理有限公司 11018 |
代理人 |
牛峥;王丽琴 |
主权项 |
一种半导体器件精细图案的制作方法,所述精细图案为相间排列的间隔和线,该方法包括:在半导体衬底上依次沉积刻蚀目标层、有机层和第一硬掩膜层;在第一硬掩膜层的表面涂布光阻胶层,并图案化所述光阻胶层,图案化的光阻胶层之间的空隙定义精细图案的间隔;以图案化的光阻胶层为掩膜,依次刻蚀第一硬掩膜层和有机层;对有机层两侧壁进行离子注入,形成硬化侧壁,所述硬化侧壁的宽度定义精细图案的线宽,相邻硬化侧壁之间的宽度定义精细图案的间隔,该间隔与图案化的光阻胶层之间的空隙定义的精细图案的间隔相同;去除第一硬掩膜层后,显露出硬化侧壁和未被离子注入的有机层,灰化去除未被离子注入的有机层;以硬化侧壁为掩膜,对刻蚀目标层进行刻蚀,形成精细图案。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |