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发明名称 PLASMA TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 KR20130005293(A) 申请公布日期 2013.01.15
申请号 KR20127027561 申请日期 2011.03.10
申请人 SEKISUI CHEMICAL CO., LTD. 发明人 KAWASAKI SHINICHI;NOGAMI MITSUHIDE;NAKANO YOSHINORI;SATOH TAKASHI
分类号 C23C16/455;C23C16/50 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
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