研磨液供给系统、使用者可调量测槽及将研磨液混合物供给至化学机械研磨站之方法

摘要

一种研磨液供给系统，适用于半导体制造设备中之一化学机械研磨制程及相关方法。研磨液供给系统包括一阀箱与一第一研磨液供给系列。阀箱包括至少一化学机械研磨站之一研磨液排放管座。第一研磨液供给系列可包括一研磨液混合槽、研磨液供给槽、以串联泵送关系设置于之至少两研磨液供给泵。第一研磨液供给系列定义一第一研磨液管路回路。于实施例中亦提供了用于定义一第二研磨液管路回路之一第二研磨液供给系列。来自第一研磨液管路回路与第二研磨液管路回路之研磨液系可分别或同时经由阀箱之操作而供应至化学机械研磨站。