制程设备

摘要

一种制程设备包含一承载模组、一输送模组、一第一搬运模组以及一气体清洁模组。输送模组邻设于承载模组，第一搬运模组自承载模组搬运一物件至输送模组，气体清洁模组设置于第一搬运模组。