检测缺陷之测试系统及其测试方法

摘要

本发明提供一种可以快速且有系统地提供缺陷检测资料的测试系统。测试系统包含复数个呈矩阵排列之测试单元、复数条位元线和复数条字元线。各测试单元具有一第一端点和一第二端点。测试单元的第一端点电连接至位元线，而第二端点电连接至一接地点。字元线用以控制测试单元的开关。藉由依序提供电压至各位元线和各字元线，本发明可以快速且有系统地检测众多测试单元的缺陷。因此，本发明之测试系统与测试方法可有效地用以检测位于积体电路中各部位的缺陷。