液晶显示装置之阵列基板及其制造方法

摘要

液晶显示装置之阵列基板及其制造方法，首先形成一初始光阻图案于一金属材料层上，接着以初始光阻图案做为蚀刻罩对金属材料层进行蚀刻，以形成信号线与金属材料图案，其中初始光阻图案系设置于信号线上。接着，对初始光阻图案执行第一灰化制程，以部分移除初始光阻图案，以形成一第一灰化光阻图案。第一灰化光阻图案与初始光阻图案相比系具有较小的宽度及较小的厚度，因此信号线的端部藉由第一灰化光阻图案而被暴露于外。以第一乾蚀刻制程对本质非晶矽层与不纯物掺杂非晶矽层进行蚀刻，最后形成一源极电极与一汲极电极于基板上。