在半导体制程中之工具健康资讯监控及工具效能分析

摘要

本发明揭示一种电脑实施方法、系统及电脑程式装置，其系用于监控半导体产品的生产以侦测潜在缺陷突发异常(excursions)。收集基于设备的资料，其反映用于处理复数半导体产品之复数半导体制造工具的设备效能。同时，亦收集产品水准资料，其系用于反映在该等复数制造工具上处理之复数半导体产品的产品品质。接着系使产品水准资料之至少一部分与基于设备的资料之至少一部分相关。至少一报告系由该资料的相关性产生。