使用混合耦合电浆之装置

摘要

本发明提供一种混合耦合电浆型装置，其包括：一具有一注气单元之腔室；一位于该腔室中之静电夹盘；一位于该注气单元上的绝缘板；一高频产生器；一连接至该高频产生器的阻抗匹配电路；以并联方式连接至该阻抗匹配电路之第一及第二天线，该高频产生器之一功率被提供至该第一及第二天线；一以串联方式连接至该第一及第二天线中的一个上之板形电极，该高频产生器之该功率被提供至该电极；以及一位于该高频产生器与该第一及第二天线中的一个之间的功率分配器。