有机材料汽化之控制

摘要

本发明系关于一种用于控制经汽化之有机材料于一基片表面沉积之方法，其包括提供一具有至少一个孔之歧管，经汽化之有机材料经由该孔沉积于该基片表面；及提供一体积之有机材料且在第一种情况下维持该有机材料之温度以便其蒸气压力低于在基片上有效地形成一层所需的压力，且在第二种情况下加热初始体积之一体积百分比之该有机材料以便经加热之有机材料的蒸气压力足够有效地形成一层。